![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Целью работы является исследование радиальной однородности распределения параметров низкотемпературной высокочастотной (ВЧ) плазмы низкого давления в реакторе индукционно связанной плазмы (ICP) для плазменно-химической обработки пластин диаметром 300 мм в газовой смеси HBr/Cl2 в зависимости от разрядных условий.
Разработан и создан подвижный держатель зонда Ленгмюра, совместимый с конструкцией загрузочного фланца реактора. Разработан регламент и проведены калибровочные и отладочные процедуры, в том числе, а) предварительное исследование плазмы аргона с использованием подвижного зонда Ленгмюра и СВЧ зонда; и б) предварительное исследование плазмы в смеси HBr/Cl2 с использованием подвижного зонда Ленгмюра и СВЧ зонда. Сделано обоснование применимости используемой методики для данной газовой смеси и диапазона условий. Проанализированы погрешности измерений. Разработан регламент и проведены сервисные процедуры, обеспечивающие воспроизводилось условий в камере в серии последовательных измерений. Проведена основная серия измерений, включающая 18 базовых точек, отличающихся различными комбинациями скорости потока газа, давления, соотношения концентраций компонентов смеси и вкладываемой мощности в соответствии с программой исследования радиального профиля температуры электронов и ионного тока на зонд с помощью зонда Ленгмюра на подвижном держателе для ОКР «Кластер ПХТ 65» от 19.08.2024. В каждой из базовых точек проведены измерения температуры электронов и ионного тока на зонд при различных радиальных координатах зонда: 0 (ось камеры), 0.25R, 0.5R, 0.75R и R (край пластины). На основе полученных данных определены радиальные распределения плотности положительных ионов во всех исследованных режимах и электроотрицательности в режимах без смещения.
Хоздоговор, Хоздоговор |
# | Сроки | Название |
1 | 6 августа 2024 г.-15 октября 2024 г. | Исследование радиального профиля температуры электронов и ионного тока на зонд с помощью зонда Ленгмюра на подвижном держателе для ОКР «Кластер ПХТ 65» |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|