ИСТИНА

Целью работы является исследование радиальной однородности распределения параметров низкотемпературной высокочастотной (ВЧ) плазмы низкого давления в реакторе индукционно связанной плазмы (ICP) для плазменно-химической обработки пластин диаметром 300 мм в газовой смеси HBr/Cl2 в зависимости от разрядных условий.

Разработан и создан подвижный держатель зонда Ленгмюра, совместимый с конструкцией загрузочного фланца реактора. Разработан регламент и проведены калибровочные и отладочные процедуры, в том числе, а) предварительное исследование плазмы аргона с использованием подвижного зонда Ленгмюра и СВЧ зонда; и б) предварительное исследование плазмы в смеси HBr/Cl2 с использованием подвижного зонда Ленгмюра и СВЧ зонда. Сделано обоснование применимости используемой методики для данной газовой смеси и диапазона условий. Проанализированы погрешности измерений. Разработан регламент и проведены сервисные процедуры, обеспечивающие воспроизводилось условий в камере в серии последовательных измерений. Проведена основная серия измерений, включающая 18 базовых точек, отличающихся различными комбинациями скорости потока газа, давления, соотношения концентраций компонентов смеси и вкладываемой мощности в соответствии с программой исследования радиального профиля температуры электронов и ионного тока на зонд с помощью зонда Ленгмюра на подвижном держателе для ОКР «Кластер ПХТ 65» от 19.08.2024. В каждой из базовых точек проведены измерения температуры электронов и ионного тока на зонд при различных радиальных координатах зонда: 0 (ось камеры), 0.25R, 0.5R, 0.75R и R (край пластины). На основе полученных данных определены радиальные распределения плотности положительных ионов во всех исследованных режимах и электроотрицательности в режимах без смещения.