|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование состава и толщины Al/SiO2 и NiCr/Ag/SiO2 покрытий с помощью резерфордовского обратного рассеяния»НИР
- Руководитель НИР: Шемухин А.А.
- Участники НИР: Балакшин Ю.В., Воробьева Е.А., Назаров А.В.
- Подразделение: Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
- Срок исполнения: 2 марта 2015 г. - 24 марта 2015 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 54-15
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: другое
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
-
Ключевые слова:
резерфордовское обратное рассеяние, тонкопленочные структуры
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Хоздоговор |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 2 марта 2014 г.-24 марта 2015 г. | Разработка методики проведения исследований покрытий Al/SiO2 и NiCr/Ag/SiO2 на кремниевой подложке. Исследование покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния в двух областях 75 мм кремниевой пластине. |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".