Аннотация:В работе выявлено накопление атомов кислорода в наноразмерных поверхностных слоях медно-никелевого сплава при имплантации ионов О+ с максимумом концентрации 55 ат.% на поверхности и последующим монотонным снижением с глубиной. Накопление атомов кислорода сопровождается одновременной сегрегацией к приповерхностным слоям атомов никеля и формированием, в основном, оксида никеля – NiO. Имплантация ионов Ar+, напротив, приводит к обогащению приповерхностных слоёв атомами меди и к обеднению атомами никеля. Показано, что сегрегированные к приповерхностным слоям атомы меди в условиях имплантации ионов Ar+ препятствуют накоплению атомов кислорода в приповерхностных слоях при последующей имплантации ионов O+, что, очевидно, обусловлено слабой химической активностью атомов кислорода к атомам меди.
