Аннотация:Предложена методика учета аппаратурного уширения в Оже-спектрах, основанная на использовании аппаратурных функций приборов полученных из экспериментальных данных. Предложенная методика была аттестована на Оже-спектрах сплава Cu 50Ni 50, полученных на рентгеноэлектронных спектрометрах ЭС-2401 и SPECS, а так же Оже-электронном спектрометре JAMP-10S как в интегральном так и в дифференциальном режимах регистрации.