Аннотация:В работе предложена новая модификация метода объемных интегральных уравнений в спектральной области, разработанного для анализа поверхностных дефектов малой толщины. Реализована возможность моделирования объектов в форме эллиптических цилиндров, расположенных как непосредственно на подложке, так и на некотором расстоянии от нее. Метод строится на основе тензора Грина полупространства с последующим переходом в спектральную область. Важной особенностью рассматриваемого подхода является прямое вычисление рассеянного поля в дальней зоне через спектральные образы объемных токов внутри рассеивателя. К достоинствам рассматриваемого подхода следует отнести его высокую производительность, обусловленную применением быстрых алгоритмов дискретного преобразования Фурье. С помощью построенного метода проведен анализ рассеивающих характеристик ряда дефектов различной формы. В частности, исследовано поведение диаграммы рассеяния в зависимости от поляризации падающей плоской волны, а также вытянутости объекта, его показателя преломления и возвышения над подложкой.