Система скола монокристаллов полупроводников in situ для сверхвысоковакуумного сканирующего туннельного микроскопастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Предложена методика скола монокристаллов полупроводников в условиях сверхвысокого вакуума. Разработана система для скола образцов in situ для сверхвысоковакуумного СТМ. На сверхвысоковакуумной установке системы «Omicron» проведены СТМ-исследования поверхности монокристалла InAs с n- и p-типом объемной проводимости.