|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Determination of Thickness of Ultrathin Surface Films in Nanostructures from the Energy Spectra of Reflected Electronsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 22 ноября 2015 г.
- Авторы: Kupreenko S.Yu, Orlikovskii N.A., Rau E.I., Tagachenkov A.M., Tatarintsev A.A.
- Журнал: Technical Physics
- Том: 60
- Номер: 10
- Год издания: 2015
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 1515
- Последняя страница: 1518
- DOI: 10.1134/S1063784215100205
- Аннотация: A new method for determining the thickness of opaque films on bulk substrates is considered in the nanometer size range. The method is based on analysis and measurements of the energy spectra of back-scattered electrons. The thicknesses of local film nanostructures are determined from the amplitude values of the spectra and from their shift on the energy axis.
- Добавил в систему: Купреенко Степан Юрьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Статья | TechPhys-2015.pdf | 594,3 КБ | 6 сентября 2016 [KupreenkoSU] |