Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Низкоэнергетическое, селективное травление пленок металлов в плотной аргоновой плазме с добавками кислорода
статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 января 2019 г.
Авторы:
АМИРОВ И.И.
,
ИЗЮМОВ М.О.
, НАУМОВ В.В.
Журнал:
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
Номер:
8
Год издания:
2016
Издательство:
ФГБУ "Издательство "Наука"
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
82
Последняя страница:
86
DOI:
10.7868/S0207352816080047
Добавил в систему:
Зотович Алексей Иванович