Аннотация:Метод объемных интегральных уравнений в спектральной области обобщен на случай групп плоских поверхностных дефектов подложки. Рассматриваются группы сплюснутых цилиндров, расположенных на подложке или на некотором расстоянии от нее. Метод строится на основе тензора Грина полупространства с последующим переходом в спектральную область. Показано, что полученное уравнение типа свертки в спектральной области обладает тем преимуществом, что решение может быть построено на равномерной сетке независимо от количества и расположения частиц в группе, что позволяет использовать высокопроизводительные алгоритмы, такие как Быстрое преобразование Фурье (БПФ). Кроме того, рассеянное поле в дальней зоне непосредственно вычисляется через полученное в спектральной области решение интегрального уравнения. С помощью построенной математической модели проведен анализ рассеивающих характеристик ряда структур различной геометрии.