Исследование свойств приповерхностного слоя Si, имплантированного ионами 64Zn+ И 16O+, в процессе формирования наночастиц ZnO при термических отжигахстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК