|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Применение метода РОР для определения профиля распределения и элементного состава пленок, напыленных на установке плазменный фокустезисы доклада
- Авторы: Ерискин А.А., Бондаренко Г.Г., Колокольцев В.Н., Куликаускас В.С., Силин П.В., Никулин В.Я.
- Сборник: Тезисы докладов 45-й Международной Тулиновской конференции "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами", Москва, 26 – 28 мая 2015
- Редактор: Машкова Евгения Сергеевна
- Тезисы
- Год издания: 2015
- Место издания: Москва
- Первая страница: 166
- Добавил в систему: Куликаускас Вацловас Станиславович