Phase-shift at subwavelength holographic lithography (SWHL) - статья | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Phase-shift at subwavelength holographic lithography (SWHL)статья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus

Авторы: Borisov M.V., Chelyubeev D.A., Chernik V.V., Gavrikov A.A., Knyazkov D.Y., Mikheev P.A., Rakhovsky V.I., Shamaev A.A.
Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Том: 8352
Год издания: 2012
Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
DOI: 10.1117/12.918016
Добавил в систему: Шамаев Алексей Станиславович