Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
Phase-shift at subwavelength holographic lithography (SWHL)
статья
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Авторы:
Borisov M.V.,
Chelyubeev D.A.
,
Chernik V.V.
,
Gavrikov A.A.
,
Knyazkov D.Y.
,
Mikheev P.A.
,
Rakhovsky V.I.
,
Shamaev A.A.
Журнал:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Том:
8352
Год издания:
2012
Издательство:
SPIE, the International Society for Optical Engineering
Местоположение издательства:
Bellingham, WA, United States
DOI:
10.1117/12.918016
Добавил в систему:
Шамаев Алексей Станиславович