|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ЭКСПРЕСС-МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОТ МИКРООБЪЕКТОВ В РЭМстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Соколов В.Н., Юрковец Д.И., Разгулина О.В., Мельник В.Н.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 3
- Год издания: 2003
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 27
- Последняя страница: 31
- Аннотация: В статье авторы предлагают решение проблемы повышения эффективности реконструкции микрорельефа поверхности образца по РЭМ-стереоизображениям. Предлагаемый экспресс-метод вычисления высот предусматривает получение данных не по всей площади образца, как в стандартном методе стереореконструкции, а только в нескольких заданных оператором точках. Данный подход имеет ряд преимуществ, главным из которых является высокая скорость обработки. Кроме того, экспресс-метод позволяет успешно преодолеть ряд ограничений стандартного метода стереобработки, например, при анализе полированных поверхностей или изучении узких и глубоких щелеобразных фрагментов микрорельефов. In the paper the authors propose an improvement of specimen surface microrelief reconstruction by SEM stereo images. The express method for height measuring they suggest implies calculation of heights in the limited number of points specified by operator unlike the standard stereo reconstruction technique which calculates the heights all over the specimen image. This approach has many advantages: the major is very low time consuming. Besides the express-method allows to overcome some limitations of the standard one, for example, while analyzing of polished surfaces or studying of narrow and deep slot-like microrelief areas.
- Добавил в систему: Соколов Вячеслав Николаевич