ВЛИЯНИЕ ДЕЙТЕРИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ВОЛЬФРАМА В ДЕЙТЕРИЕВОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДАстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК