|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Broad band optical monitoring of large area coatings produced using planetary rotationстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 3 ноября 2018 г.
- Авторы: Valery Zhupanov, Viktor Fedoseev, Pavel Novikov, Dmitry Pavlyshin, Ivan Kozlov, Alexander Tikhonravov
- Сборник: Proceedings Volume 10691, Advances in Optical Thin Films VI
- Год издания: 2018
- Первая страница: 106910F-1
- Последняя страница: 106910F-8
- DOI: 10.1117/12.2311445
- Аннотация: The production of large area coatings in the vacuum chamber with the dimensions of 100×100×100 inches is considered. The chamber has the planetary rotation system with three planets. The original monitoring system with two broad band optical monitors combines the advantages of direct and indirect optical monitoring. The results of production of large area coatings are presented to illustrate the capabilities of the combined direct-indirect monitoring system.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович