Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле, посредством программы КАРАТ

Александров, А.Ф.; Вавилин, К.В.; Кралькина, Е.А.; Павлов, В.Б.; Петров, А.К.; Тараканов, В.П.

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.

Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Петров А.К., Тараканов В.П.
Журнал: Прикладная физика
Номер: 5
Год издания: 2015
Издательство: [б.и.]
Местоположение издательства: М.
Первая страница: 44
Последняя страница: 47
Аннотация: В работе представлены результаты математического моделирования PIC-методом пространственного распределения параметров плазмы и ВЧ-полей в индуктивном ВЧ-разряде,помещенном во внешнее магнитное поле. Показано, что с ростом величины внешнего магнитного поля происходит смещение максимальных значений плотности плазмы по радиусу к стенкам источника плазмы, а по оси разряда — от антенны в центральные части разряда.Закономерности изменения плотности плазмы коррелируют с изменениями пространственного распределения ВЧ-поля.
Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ИНХС РАН

Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле, посредством программы КАРАТстатья

Прикрепленные файлы