|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
On application of interference of millimeter and submillimeter waves for diagnostics of photoconductivity depth distribution in semiconductor wafersстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 апреля 2016 г.
- Авторы: Koshelev O.G., Guseva E.A.
- Журнал: Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
- Том: 72
- Номер: 1
- Год издания: 2008
- Издательство: Allerton Press Inc.
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 108
- Последняя страница: 112
- DOI: 10.1007/s11954-008-1025-4
- Аннотация: The interference of millimeter and submillimeter waves in a high-resistivity semiconductor wafer illuminated by modulated light and located in the waist plane of a open resonator perpendicularly to its axis is considered. It is shown that measurements of the modulation depth of the transmittance of such a resonator at certain frequencies at several wafer positions make it possible to reconstruct the photoconductivity depth distribution. The effect of different experimental errors on the reconstruction accuracy is estimated.
- Добавил в систему: Кошелев Олег Григорьевич