Deposition of PbTiO3 thin films from thd-complexes by an aerosol source MOCVD methodстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus,
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 23 декабря 2020 г.
Аннотация:Evaporation rates of lead, titanium, zirconium and lanthanum thd-precursors and deposition rates of corresponding single oxides were measured by using a microbalance setup. Epitaxial-like PbTiO3 thin films on MgO (100) substrates and heterostructures PbTiO3/In2O3/MgO (100) were deposited by an aerosol source CVD technique.