|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
In situ модификация и анализ состава и кристаллической структуры кремниевой мишени с помощью ионно-пучковых методикстатья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 21 мая 2019 г.
- Авторы: Балакшин Ю.В., Шемухин А.А., Назаров А.В., Кожемяко А.В., Черныш В.С.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 88
- Номер: 12
- Год издания: 2018
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 1900
- Последняя страница: 1907
- DOI: 10.21883/JTF.2018.12.46796.41-18
- Аннотация: Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР) в сочетании с каналированием широко распространен в области анализа состава и структуры материалов. Представлены описание и технические параметры экспериментальной линии, предназначенной для проведения in situ ионной имплантации и спектрометрии РОР. Приведены параметры анализирующего пучка, необходимые для достижения погрешности в несколько процентов при исследовании профилей распределения примесей и дефектов. Разрешение методики было оценено при помощи спектра альфа частиц, полученных при распаде 239Pu и из РОР спектра от монокристалла кремния. Имплантация ионов Xe+ с энергией 100 keV в монокристалл кремния и РОР анализ мишеней в режиме каналирования были проведены без нарушения вакуумных условий. Были изучены профиль распределения внедренных атомов и профиль распределения дефектов в облученных монокристаллах.
- Добавил в систему: Балакшин Юрий Викторович