Место издания:Государственный технологический университет "Московский институт стали и сплавов" (МИСиС) Москва
Первая страница:114
Последняя страница:115
Аннотация:На основе проведенных исследований установлено, что как в легированных, так и в нелегированных отожженных пленках при низких температурах наблюдается прыжковая проводимость с переменной длиной прыжка по состояниям оборванных связей вблизи уровня Ферми. При высокой температуре в этих пленках наблюдается зонная проводимость. Однако положение уровня Ферми в нелегированной отожженной пленке осталось неизменным, в то время как в легированной пленке уровень Ферми сместился к валентной зоне.
Кроме того в легированной пленке в области промежуточных температур наблюдается прыжковая проводимость по состояниям хвоста валентной зоны. Появление этой проводимости в отожженной легированной пленке обусловлено возрастанием концентрации электрически активных атомов бора после высокотемпературного отжига и существенным смещением уровня Ферми к валентной зоне. Знание параметров энергии активации этой проводимости и положения уровня Ферми в этой пленке позволило нам определить ширину плотности состояний с неэкспоненциальным спадом в хвосте валентной зоны.