|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Формирование стержнеобразных ориентированных преципитатов силицида никеля при магнетронном напылении углерода и никеля на кремнийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Черных П.Н., Чеченин Н.Г., Сергачев И.А., Тимофеев М.А.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 1
- Год издания: 2011
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 71
- Последняя страница: 75
- Аннотация: Обнаружено формирование стержнеобразных структур при совместном магнетронном осаждении углерода и никеля на подложку Si(100) с естественным слоем оксида, ориентированных вдоль направлений 100 и 010 кристалла кремния. Осаждение в аналогичных условиях на кремниевую подложку с ориентацией (111) не приводило к формированию стержнеообразных структур. Исследования показали, что стержнеобразные структуры представляют собой эпитаксиальные преципитаты силицида никеля. Представлены результаты экспериментального исследования состава, структуры и формы образующихся кластеров силицидов в зависимости от ориентации подложки кремния и толщины соосаждаемого слоя.
- Добавил в систему: Чеченин Николай Гаврилович