Аннотация:Для исследования поверхностных нано- и субнанослоев в НИИЯФ МГУ создан экспериментальный комплекс КГ-MEIS, который объединил в себе ускоритель КГ-500 и камеру MEIS, оснащенную тороидальным электростатическим анализатором с детектором на основе микроканальных пластин и специального позиционно-чувствительного коллектора. Данный экспериментальный комплекс позволит использовать метод спектроскопии ионов средней энергии, основанный на принципе резерфордовского обратного рассеяния, и исследовать поверхность образцов с разрешением порядка одного ангстрема. В работе дано описание узлов экспериментального комплекса, а также приведены результаты тестовых экспериментов.