Аннотация:Исследуется формирование скрытых полостей в кремнии при имплантации ионов Не+ и поглощение газа порами при высоких температурах и давлениях. Показано, что поглощение происходит в порах, а не в матрице образцов. На основе процессов поглощения и термодесорбции предлагается метод определения абсолютного объема скрытых полостей в материалах.