|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Электрические пробои МОП- структур - важнейший фактор плазменной деградации микроэлектронных чиповстатья
- Авторы: Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- Журнал: Гетеромагнитная микроэлектроника
- Том: 25
- Номер: 2
- Год издания: 1996
- Первая страница: 127
- Последняя страница: 134
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович