|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Study of the inductive RF discharge with the capacitive componentстатья
- Авторы: Alexandrov A.F., Vavilin K.V., Kralkina E.A., Pavlov V.B., Rukhadze A.A., Savinov V.P., Zhao C.
- Сборник: Contr. Papers of VI Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
- Том: 1
- Год издания: 2009
- Место издания: Minsk
- Первая страница: 106
- Последняя страница: 109
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович