|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Тонкопленочная платформа для химических газовых сенсоровстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 ноября 2019 г.
- Авторы: Росляков И.В., Напольский К.С., Столяров В.С., Карпов Е.Е., Ивашев А.В., Суртаев В.Н.
- Журнал: Микроэлектроника
- Том: 47
- Номер: 4
- Год издания: 2018
- Издательство: Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 7
- Последняя страница: 15
- Аннотация: В работе предложен и успешно реализован метод формирования планарных микронагревателей, позволяющих разогревать активную зону до температуры выше 500 °С. Разработанные нагревательные элементы характеризуются малой потребляемой мощностью, низкой инерционностью и чрезвычайно высокой устойчивостью к ударным нагрузкам. Используемые в работе синтетические подходы (анодное окисление, фотолитография, магнетронное напыление) отличаются технологичностью и простотой масштабирования. Это делает планарные нагревательные элементы перспективной платформой для создания на их основе полупроводниковых и термокаталитических сенсоров токсичных и взрывоопасных газов.
- Добавил в систему: Росляков Илья Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Mikroelektronika_47_No4_2018-2-min.pdf | 236,8 КБ | 21 ноября 2018 [Stolyarov] |