|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
PLATINUM SILICIDES FORMATION ON HEAVILY DOPED SILICON BY ION MIXINGстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus,
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 6 декабря 2018 г.
- Авторы: VASILJEV SV, GERASIMENKO NN, KALININ VV, KULIKAUSKAS VS
- Журнал: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
- Год издания: 1987
- Издательство: Elsevier BV
- Местоположение издательства: Netherlands
- Первая страница: 749
- Последняя страница: 752
- Добавил в систему: Куликаускас Вацловас Станиславович