|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Построение модели и анализ технологического процесса изготовления тонкопленочных элементов статистическим методом главных компонентовтезисы доклада
- Авторы: Литваковский Б.А., Андрукович П.Ф., Гинберг А.М., Грановский Ю.В., Кириенко А.П.
- Сборник: Доклады 1-й конференции по применению методов математического моделирования и статистических методов для анализа-синтеза интегральных схем и технологических процессов микроэлектроники
- Тезисы
- Год издания: 1969
- Место издания: МИЭМ Москва
- Первая страница: 87
- Последняя страница: 88
- Добавил в систему: Грановский Юрий Васильевич