Аннотация:В работе исследуется возможность применения широкополосного оптического контроля при напылении сглаживающих фильтров для телекоммуникационных приложений. На основе резуль- татов моделирования процесса напыления и детального математического анализа показывается, что точное воспроизведение требуемых спектральных характеристик фильтра оказывается воз- можным только благодаря присущей этому методу контроля корреляции ошибок процесса напы- ления и связанному с ней эффекту самокомпенсации ошибок. Обсуждается вопрос о выборе опти- мального с точки зрения практики спектрального диапазона мониторинга.