Исследование плазменного ионного источника с полым катодомстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Сконструирована и исследуется цельнометаллическая экспериментальная установка на основе электрического разряда в полом катоде - плазменный источник ионов газов и тугоплакких элементов типа Fe, Ta, Mo для целей микроэлектроники.