|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Воздействие электронов низкой энергии на поверхностную миграционную нестабильность структур кремний - двуокись кремниястатья
- Авторы: Козлов С.Н., Демидович Г.Б., Катеков В.В., Славова Л.Л.
- Сборник: Труды Всесоюзного научно-технического семинара "Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем"
- Год издания: 1984
- Место издания: Изд-во Рязанского технич. ин-та Рязань
- Первая страница: 10
- Последняя страница: 11
- Добавил в систему: Козлов Сергей Николаевич