|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Discrete Sources Method for analysis of a light scattering by an air bubble on resist for immersion lithographyстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Eremina E., Eremin Yu, Wriedt T.
- Журнал: Journal of Quantitative Spectroscopy and Radiative Transfer
- Том: 100
- Год издания: 2006
- Издательство: Pergamon Press Ltd.
- Местоположение издательства: United Kingdom
- Первая страница: 131
- Последняя страница: 136
- Добавил в систему: Еремин Юрий Александрович