|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Laser optoacoustic nondestructive method of thickness measurement of subsurface damaged layer in machined silicon wafersтезисы доклада
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 мая 2015 г.
- Авторы: Podymova N.B., Karabutov A.A.
- Сборник: Book of Abstracts 15th Int. Congress on Photoacoustic and Photothermal Phenomena (ICPPP 15)
- Тезисы
- Год издания: 2009
- Место издания: Leuven, Belgium
- Первая страница: 340
- Последняя страница: 340
- Добавил в систему: Подымова Наталья Борисовна