|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Experimental data vs. 3-D model calculations of HFCVD processes: correlations and discrepanciesстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Mankelevich Y.A., Suetin N.V., Ashfold M.N.R, Smith J.A., Cameron E.
- Журнал: Diamond and Related Materials
- Том: 10
- Номер: 3-7
- Год издания: 2001
- Издательство: Elsevier BV
- Местоположение издательства: Netherlands
- Первая страница: 364
- Последняя страница: 369
- DOI: 10.1016/S0925-9635(00)00419-2
- Аннотация: An existing 3-D model [Mankelevich et al. Diamond Relat. Mater. 7 (1998) 1133] has been used to explain experimentally measured spatially resolved CH; radical number densities in hot filament CVD reactors operating with both CH4/H-2 and C2H2/H-2 process gas mixtures and to examine in detail the process of Ct tt C, inter-conversion in the gas phase. It has been shown that cooler regions distant from the filament need to be modelled in order to obtain the significant C-2 --> C-1 conversion observed in HFCVD reactors with C2H2/H-2 process gas mixtures. The origin and effect of the non-equilibrated H, molecule vibrational state population distribution are studied for the first time in the context of HFCVD reactor models. (C) 2001 Elsevier Science B.V, All rights reserved.
- Добавил в систему: Манкелевич Юрий Александрович