Аннотация:Приведено описание методики рентгеновского фотоэлектронного анализа нанокремния и композитных структур на его основе. Предложенная методика позволяет проводить качественное и количественное определение состава образцов нанокремния и композитных структур на его основе с использованием неразрушающего метода РФЭС.
Описан процесс пробоподготовки анализируемого вещества, условия проведения съёмки спектров РФЭС, включая влияние используемой подложки на результаты измерений. Приведена методика очистки поверхности анализируемых образцов ионной бомбардировкой (Ar+). Разработан метод обработки полученных спектров при деконволюции пиков экспериментальных кривых интенсивности аналитического сигнала РФЭС.
Возможности предлагаемой методики продемонстрированы при определениях качественного и количественного состава образцов, полученных различными методами синтеза, в жидком и твёрдом состояниях. Показана возможность одновременного определения всех валентных состояний кремния в образцах, полученных плазмохимическим, лазерно-химическим и химическим методами синтеза, позволяющими производить массовые количества наноматериала. Представлены метрологические характеристики разработанной методики.
Область применения данной методики охватывает материаловедение, электронную технику, медицину; разработку и производство катализаторов, полупроводников, устройств микроэлектроники, тонкопленочных структур, полимерных нанокомпозитов, биометок для медицинской диагностики.