|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование чувствительных элементов давления с повышенной прочностьюстатья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 августа 2021 г.
- Авторы: Пригодский Д.М., Басов М.В.
- Журнал: Нано- и микросистемная техника
- Том: 21
- Номер: 6
- Год издания: 2019
- Первая страница: 368
- Последняя страница: 376
- DOI: 10.17587/nmst.21.368-376
- Аннотация: Исследована конструкция кремниевого чувствительного элемента давления с упорами, обеспечивающая стойкость к многократным перегрузкам. Доказано преимущество использования предложенного упора при перегрузочном давлении, в котором требуемое расстояние для хода мембраны кристалла определяется зазором, образованным толщиной прецизионно нанесенного припойного стекла. Приведены результаты исследований тензомодулей с повышенной прочностью с номинальным давлением в диапазоне 1,6...25 кПа, имеющих пятикратное повышение прочности в сравнении со стандартной конструкцией тензомодуля.
- Добавил в систему: Басов Михаил Викторович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Текст | Research_of_Pressure_Sensitive_Elements_with_Increased_Stre… | 417,9 КБ | 20 июня 2019 [BasovMikhail] |