|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Компьютерный анализ топологии поверхности кремния, имплантированного ионами цинка и окисленного при повышенных температурахтезисы доклада
- Авторы: Соколов В.Н., Разгулина О.В., Привезенцев В.В., Ксенич C.В.
- Сборник: XXVI Российская конференция по электронной микроскопии. 30 мая – 3 июня 2016г. г. Москва Зеленоград. Тезисы докладов
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Место издания: ИПТМ РАН г. Москва Зеленоград
- Первая страница: 554
- Последняя страница: 555
- Добавил в систему: Соколов Вячеслав Николаевич