Аннотация:Для развития зондовых методов диагностики плазмы проведены экспериментальные зондовые измерения и разработаны численные модели транспорта ионов на зонд с учетом столкновений. Вольт-амперные характеристики цилиндрического и плоского зонда измерены в ВЧ емкостном разряде в аргоне на частоте 81 МГц в диапазоне плотности плазмы 10^10 - 10^11 см^-3, характерной для современных ВЧ реакторов. Разработаны одномерная и двумерная численные модели для описания сбора ионного тока зондом, основанные на методе "Частиц в ячейке" с Монте-Карло столкновениями для описания движения ионов и Больцмановском равновесии электронов. Эти модели были использованы для получения значения плотности плазмы на основе ионной части вольт-амперной характеристики, а также для изучения эффектов столкновения ионов и верификации более простых подходов определения плотности плазмы. Для случая цилиндрического зонда предложена одномерная гидродинамическая модель ионного тока на зонд с учетом столкновений ионов. Для случая плоского зонда предложен метод определения плотности плазмы с использованием усредненных величин из численного расчета. Проведен сравнительный анализ различных подходов для вычисления плотности плазмы по ионному току на зонд.