|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
The modeling of euv sources by considering detailed kinetics, including in-line in the gasdynamics calculationстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 октября 2016 г.
- Авторы: Kim D.A., Novikov V.G., Dolgoleva G.V., Koshelev K.N., Solomyannaya A.D.
- Журнал: Mathematical Models and Computer Simulations
- Том: 6
- Номер: 1
- Год издания: 2014
- Первая страница: 46
- Последняя страница: 55
- Добавил в систему: Долголева Галина Владимировна