Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азотастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 ноября 2021 г.
Аннотация:Исследованы тонкие углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионностимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота. Результаты спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и электронной дифракции свидетельствуют о росте графитовойсоставляющей при увеличении энергии ионной стимуляции. Применение ионной стимуляции в процессенапыления пленок позволяет управлять их удельным сопротивлением, изменяя его от 10^5до 10^2 Ohm*cm.https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/48436