Аннотация:Методом МОС-гидридной эпитаксии на основе гетеропары GaAs/AlGaAs выращены короткопериодные сверхрешетки, активная область и гетероструктура квантового каскадного лазера. Исследованы их характеристики методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии, просвечивающей электронной микроскопии и фотолюминесценции. На основе гетероструктур разработаны квантовые каскадные лазеры, излучающие в области спектра около 10 мкм. Мощность излучения в импульсном режиме при 77 К составляла более 200 мВт.