|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ИСТОЧНИКИ ПРИМЕСИ УГЛЕРОДА ПРИ ПОЛУЧЕНИИ ВЫСОКОЧИСТОГО МОНОИЗОТОПНОГО 28Si ГИДРИДНЫМ МЕТОДОМстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 февраля 2020 г.
- Авторы: Буланов А.Д., *, Гавва В.А., Созин А.Ю., Чурбанов М.Ф., Котерева Т.В., Кириллов Ю.П., Лашков А.Ю., Трошин О.Ю., Сорочкина Т.Г., Чернова О.Ю., Абросимов Н.В., Шабарова Л.В.
- Журнал: Неорганические материалы
- Том: 54
- Номер: 10
- Год издания: 2018
- Первая страница: 1033
- Последняя страница: 1039
- DOI: 10.1134/s0002337x18100044
- Аннотация: Рассмотрены источники примеси углерода в поликристаллическом моноизотопном кремнии-28, получаемом гидридным методом. По результатам определения содержания углеродсодержащих примесей в летучих соединениях кремния (28SiF4, 28SiH4), в применяемых технологических газах (Ar, H2) и в поликристаллическом 28Si установлены основные источники углерода в поликристал- лическом 28Si, полученном гидридным методом. Это исходные 28SiF4 и гидрид кальция, применяе- мые при конверсии 28SiF4 в 28SiH4. Скорость поступления углерода в поликристаллический крем- ний из материала аппаратуры в процессе пиролиза моносилана не превышает 9 × 1011 ат/(см2 ч). Про- ведено осаждение поликристаллического кремния из моносилана с разным содержанием примесей углеводородов. В области их концентрации 10–3–10–4 мол. % наблюдается корреляция между содер- жанием углерода в моносилане и полученном из него кремнии. Из высокочистого моносилана полу- чены образцы поликристаллического 28Si с содержанием примеси углерода (0.8–2.3) × 1015 ат/см3. На основании расчетов распределения примеси углерода по длине слитка, очищенного методом зон- ной плавки, изучена зависимость выхода монокристаллического моноизотопного кремния-28 от содержания этой примеси в исходном поликристалле. Сформулированы требования к содержанию углерода в поликристаллическом 28Si, обеспечивающие высокий выход монокристалла с требуемы- ми параметрами для метрологических целей.
- Добавил в систему: Лашков Артем Юрьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|