|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Accurate formulas for estimating the effect of surface micro-roughness on ellipsometric angles of dielectric thin filmsтезисы доклада
- Авторы: Tikhonravov A.V., Tikhonravov A.A., Trubetskov M.K.
- Сборник: Optical Interference Coatings on CD-ROM (The Optical Society of America)
- Тезисы
- Год издания: 2004
- Место издания: Washington, DC
- Первая страница: WE4
- Аннотация: Accurate formulas for the variations of ellipsometric angles caused by the surface micro-roughness are derived. These formulas are used for estimating sensitivities of the ellipsometric angles to the thickness of surface overlayer presenting surface micro-roughness.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович