Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источников плазмы низкого давления
статья
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Бугров Г.Э.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Плаксин В.Ю.
,
Рухадзе А.А.
Журнал:
Наукоемкие технологии
Том:
6
Номер:
1
Год издания:
2005
Издательство:
Издательство "Радиотехника"
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
5
Добавил в систему:
Кралькина Елена Александровна