Аннотация:Методом ионно-плазменного импульсно-дугового распыления графита в атмосфере метана были получены углеродные пленки с различной долей sp-связей. Данные спектроскопии комбинационного рассеяния света и просвечивающей электронной микроскопии свидетельствуют о том, что с ростом концентрации метана в рабочем объеме увеличивается содержание фазы, соответствующей углеродным цепочкам с sp-гибридизацией. Электросопротивление образцов хорошо коррелирует с долей sp-гибридизованного углерода в структуре исследуемых пленок.