|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. III. Исследование влияния емкостной составляющей на параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда низкого давлениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
- Авторы: Александров Бугров Г.Э.А.Ф, Вавилин Керимова И.Ф.К.В, Кралькина Е.А., Павлов Плаксин В.Ю.В.Б, Рухадзе Савинов В.П.А.А
- Журнал: Прикладная физика
- Номер: 1
- Год издания: 2006
- Издательство: [б.и.]
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 36
- Последняя страница: 42
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна