Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в D2, Ne и их смесяхстатья
-
Авторы:
Буховец В.Л.,
Городецкий А.Е.,
Залавутдинов Р.Х.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Казанский Л.П.,
Рыбкина Т.В.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Мухин Е.Е.
-
Сборник:
Сборник научных трудов. ХХI конференция «Взаимодействие плазмы с поверхностью», 24-25 января 2018 г
-
Год издания:
2018
-
Первая страница:
31
-
Последняя страница:
32
-
Добавил в систему:
Городецкий Александр Ефимович