|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Осаждение и свойства тонкопленочных TiOx покрытий, получаемых магнетронным распылением керамических мишенейстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Бернт Д.Д., Маланичев С.А., Трошкина И.Д., Леонова К.А.
- Журнал: Ядерная физика и инжиниринг
- Том: 9
- Номер: 2
- Год издания: 2018
- Издательство: НИЯУ МИФИ
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 145
- Последняя страница: 150
- Добавил в систему: Трошкина Ирина Дмитриевна