|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Компьютерный анализ АСМ-изображений поверхности кремния, имплантированного ионами цинка и окисленного при повышенных температурахстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 июня 2020 г.
- Авторы: СОКОЛОВ В.Н., РАЗГУЛИНА О.В., ПРИВЕЗЕНЦЕВ В.В., КСЕНИЧ С.В.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 8
- Год издания: 2019
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 71
- Последняя страница: 77
- DOI: 10.1134/S0207352819080183
- Аннотация: В работе проведено компьютерное исследование морфологических характеристик АСМ-изображений самоорганизованной системы поверхностных бугорков в образцах кремния n-типа, выращенного по методу Чохральского, с ориентацией пластин (100), легированных цинком в условиях горячей имплантации и окисленных при высоких температурах. Изучение топологии поверхности образцов проводилось в условиях окружающей среды с использованием сканирующего туннельного микроскопа в режиме атомно-силовой моды. Компьютерный анализ АСМ-изображений поверхности проводился с помощью программного обеспечения STIMAN 3D. Проведенный анализ позволил дать количественную оценку морфологии системы бугорков на поверхности пластины по ряду параметров (эквивалентный диаметр, площадь, суммарная площадь и коэффициент формы) как после имплантации Zn, так и после отжигов. Количественная оценка морфологии системы поверхностных бугорков позволит проводить неразрушающий контроль образования и эволюции наночастиц в подповерхностном слое имплантированных образцов при их термообработке.
- Добавил в систему: Соколов Вячеслав Николаевич