|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентябрястатья
- Авторы: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Шамирян Д.
- Сборник: Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново)
- Том: 2
- Год издания: 2008
- Место издания: Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново
- Первая страница: 506
- Последняя страница: 509
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович